IMEC - một trong các đối tác quan trọng giúp ASML phát triển công nghệ High-NA (0.55) EUV - vừa công bố vài hình ảnh về các cấu trúc bán dẫn được sản xuất trên nền tảng in litho mới nhất này.
Mặc dù là cái tên hot nhất ngành bán dẫn hiện nay nhưng ASML (Hà Lan) không hề đơn độc một mình trong cuộc đua EUV mà còn dựa vào nhiều đối tác để cùng nghiên cứu. Một trong số các đối tác đó là IMEC (Bỉ), đơn vị sát cánh với ASML từ những ngày đầu tiên phát triển 0.55 NA EUV. Mới đây nhất, IMEC vừa công bố vài kết quả sơ bộ từ hệ thống TWINSCAN EXE:5000 (đang phân phối cho Intel và Samsung) cho thấy khả năng của nền tảng in litho mới nhất này.
Cụ thể, IMEC cho biết chỉ một lần phơi sáng duy nhất, hệ thống 0.55 NA EUV đã tạo được các mạch logic có bề dày nét kim loại 9.5 nm, cùng với khoảng pitch 19 nm, cho phép đạt cự ly 2 đầu (tip-to-tip) dưới 20 nm. Bên cạnh đó, cấu trúc xuyên lỗ (vias) ngẫu nhiên với khoảng cách 2 tâm 30 nm cũng cho thấy độ rõ nét cũng như sự đồng nhất tuyệt vời. Ngoài ra, các chi tiết 2D ở cự ly P22 nm cũng thể hiện rõ hiệu suất vượt mong đợi, cho thấy tiềm năng ứng dụng High-NA vào việc đi mạch (routing) 2D.
Cấu trúc mạch logic có bề dày kim loại 9.5 nm và khoảng cách 19 nm
Mặc dù là cái tên hot nhất ngành bán dẫn hiện nay nhưng ASML (Hà Lan) không hề đơn độc một mình trong cuộc đua EUV mà còn dựa vào nhiều đối tác để cùng nghiên cứu. Một trong số các đối tác đó là IMEC (Bỉ), đơn vị sát cánh với ASML từ những ngày đầu tiên phát triển 0.55 NA EUV. Mới đây nhất, IMEC vừa công bố vài kết quả sơ bộ từ hệ thống TWINSCAN EXE:5000 (đang phân phối cho Intel và Samsung) cho thấy khả năng của nền tảng in litho mới nhất này.
Cụ thể, IMEC cho biết chỉ một lần phơi sáng duy nhất, hệ thống 0.55 NA EUV đã tạo được các mạch logic có bề dày nét kim loại 9.5 nm, cùng với khoảng pitch 19 nm, cho phép đạt cự ly 2 đầu (tip-to-tip) dưới 20 nm. Bên cạnh đó, cấu trúc xuyên lỗ (vias) ngẫu nhiên với khoảng cách 2 tâm 30 nm cũng cho thấy độ rõ nét cũng như sự đồng nhất tuyệt vời. Ngoài ra, các chi tiết 2D ở cự ly P22 nm cũng thể hiện rõ hiệu suất vượt mong đợi, cho thấy tiềm năng ứng dụng High-NA vào việc đi mạch (routing) 2D.
Cấu trúc mạch logic có bề dày kim loại 9.5 nm và khoảng cách 19 nm
Cấu trúc xuyên lỗ (vias) ngẫu nhiên cự ly 2 tâm 30 nm
Cấu trúc 2D với cự ly P22 nm
Cấu trúc kết hợp node landing pad và DRAM bit line
Ngoài năng lực in mạch logic ra, IMEC cũng thử nghiệm việc in mẫu DRAM bằng High-NA. Kết quả cho thấy chỉ 1 lần phơi sáng đã kết hợp được cả phần thiết kế storage node landing pad với bit line periphery của DRAM, ở cự ly P32 nm. Bước tiến này cho thấy hoàn toàn có thể loại bỏ việc phơi sáng nhiều lần để tạo ra các chi tiết bộ nhớ chỉ bằng 1 lần phơi sáng High-NA.
Những thông tin này là cơ sở quan trọng để xây dựng ra "hệ sinh thái" High-NA EUV, không chỉ riêng với IMEC hay ASML mà còn với nhiều đối tác bán dẫn khác. Chỉ khi hệ thống in litho 0.55 NA cho thấy chất lượng thực sự vượt trội hơn 0.33 NA, thì đó mới là cơ sở cho những công ty sản xuất chip như TSMC, UMC hay Samsung xem xét việc đầu tư vào. Hiện tại, duy nhất mỗi Intel là đang sở hữu hệ thống High-NA EUV đầu tiên trên thế giới (ngoài ASML).
Khóa học Machine Learning cơ bản- Khoa học dữ liệu - AI 
==***==
Khoá học Quản trị Chiến lược Dành cho Lãnh đạo Doanh nghiệp
==***==
Nơi hội tụ Tinh Hoa Tri Thức - Khơi nguồn Sáng tạo
Để tham gia khóa học công nghệ truy cập link: http://thuvien.hocviendaotao.com
Mọi hỗ trợ về công nghệ email: dinhanhtuan68@gmail.com
---
Khóa học Hacker và Marketing từ A-Z trên ZALO!
Khóa học Hacker và Marketing từ A-Z trên Facebook!
Bảo mật và tấn công Website - Hacker mũ trắng
KHÓA HỌC LẬP TRÌNH PYTHON TỪ CƠ BẢN ĐẾN CHUYÊN NGHIỆP 
Khóa học Lập trình Visual Foxpro 9 - Dành cho nhà quản lý và kế toán 
Khóa học hướng dẫn về Moodle chuyên nghiệp và hay Xây dựng hệ thống đào tạo trực tuyến chuyên nghiệp tốt nhất hiện nay. 
Khóa học AutoIt dành cho dân IT và Marketing chuyên nghiệp 
Khoá học Word từ cơ bản tới nâng cao, học nhanh, hiểu sâu 
Khóa học hướng dẫn sử dụng Powerpoint từ đơn giản đến phức tạp HIỆU QUẢ 
Khóa học Thiết kế, quản lý dữ liệu dự án chuyên nghiệp cho doanh nghiệp bằng Bizagi 
Khóa học Phân tích dữ liệu sử dụng Power Query trong Excel 
Khóa học Lập trình WEB bằng PHP từ cơ bản đến nâng cao 
Khóa học Phân tích dữ liệu sử dụng SPSS - Chìa khóa thành công!
Khóa học "Thiết kế bài giảng điện tử", Video, hoạt hình kiếm tiền Youtube bằng phần mềm Camtasia Studio 
Khóa học HƯỚNG DẪN THIẾT KẾ VIDEO CLIP CHO DÂN MARKETING CHUYÊN NGHIỆP 
HƯỚNG DẪN THIẾT KẾ QUẢNG CÁO VÀ ĐỒ HỌA CHUYÊN NGHIỆP VỚI CANVA Hãy tham gia khóa học để trở thành người chuyên nghiệp. Tuyệt HAY!😲👍 
GOOGLE SPREADSHEETS phê không tưởng 
Hãy tham gia khóa học để biết mọi thứ
Khóa học Ba, Mẹ và Bé - Cùng bé lập trình TUYỆT VỜI
Khóa học sử dụng Adobe Presenter-Tạo bài giảng điện tử 
Để thành thạo Wordpress bạn hãy tham gia khóa học 
Khóa học sử dụng Edmodo để dạy và học hiện đại để thành công 
==***== Bảo hiểm nhân thọ - Bảo vệ người trụ cột 
Cập nhật công nghệ từ Youtube tại link: congnghe.hocviendaotao.com
Tham gia nhóm Facebook
Để tham gia khóa học công nghệ truy cập link: http://thuvien.hocviendaotao.com
Mọi hỗ trợ về công nghệ email: dinhanhtuan68@gmail.com
Bảo mật và tấn công Website - Hacker mũ trắng
KHÓA HỌC LẬP TRÌNH PYTHON TỪ CƠ BẢN ĐẾN CHUYÊN NGHIỆP
Khóa học AutoIt dành cho dân IT và Marketing chuyên nghiệp
Khoá học Word từ cơ bản tới nâng cao, học nhanh, hiểu sâu
Khóa học hướng dẫn sử dụng Powerpoint từ đơn giản đến phức tạp HIỆU QUẢ
Khóa học Thiết kế, quản lý dữ liệu dự án chuyên nghiệp cho doanh nghiệp bằng Bizagi
Khóa học Phân tích dữ liệu sử dụng Power Query trong Excel
Khóa học Lập trình WEB bằng PHP từ cơ bản đến nâng cao
Khóa học Phân tích dữ liệu sử dụng SPSS - Chìa khóa thành công!
kiếm tiền Youtube bằng phần mềm Camtasia Studio
Khóa học HƯỚNG DẪN THIẾT KẾ VIDEO CLIP CHO DÂN MARKETING CHUYÊN NGHIỆP
HƯỚNG DẪN THIẾT KẾ QUẢNG CÁO VÀ ĐỒ HỌA CHUYÊN NGHIỆP VỚI CANVA
Hãy tham gia khóa học để trở thành người chuyên nghiệp. Tuyệt HAY!😲👍
GOOGLE SPREADSHEETS phê không tưởng
Hãy tham gia khóa học để biết mọi thứ
Khóa học Ba, Mẹ và Bé - Cùng bé lập trình TUYỆT VỜI
Khóa học sử dụng Adobe Presenter-Tạo bài giảng điện tử
Để thành thạo Wordpress bạn hãy tham gia khóa học
Khóa học sử dụng Edmodo để dạy và học hiện đại để thành công
==***==
Bảo hiểm nhân thọ - Bảo vệ người trụ cột
Tham gia nhóm Facebook
Để tham gia khóa học công nghệ truy cập link: http://thuvien.hocviendaotao.com
Mọi hỗ trợ về công nghệ email: dinhanhtuan68@gmail.com
Nguồn: Tinh Tế